真空熱處理爐是一種先進的熱處理設備，可以進行真空釬焊、真空熱處理、真空擴散焊、真空加熱、淬火、回火、退火、滲碳、滲氮、加壓氣體淬火等多種熱處理。也可以進行粉末冶金燒結、航空航天工件的釬焊等。真空熱處理工藝可以顯著提高被加工材料和工件的性能，充分利用材料。因此，從廣義上講，真空爐是一種明顯節約單位能耗的先進熱處理設備。

真空熱處理爐可分為真空淬火爐、真空回火爐、真空退火爐等。

1.真空回火爐:真空回火爐可分為單室、雙室、立式等。一般用鎳鉻帶加熱，最高溫度800℃。一般采用真空回火爐，要求回火零件表面光亮無氧化色。

2.真空退火爐:真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐可根據零件材料選擇中高溫和低溫(中高溫800℃ ~ 1350℃，低溫800℃)。

3.真空淬火爐；真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空空氣淬火爐。

3.1真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用材料廣，淬透性強，成本低，淬火油可重復使用。缺點是:變形比較大，工件需要后期清理。油淬爐在結構上可分為兩室爐和三室爐。

3.2真空高壓氣淬爐適用于一些淬透性好的材料的真空熱處理，如高速鋼、不銹鋼、模具鋼等。其特點是零件變形小，熱處理后無需清洗。缺點是急冷氣不能回收，成本高。真空氣淬爐在結構上可分為臥式和立式。臥式可分為單人房、雙人房和三人間。立式適用于環形、圓柱形和長桿形零件的熱處理。高壓氣淬爐的淬火壓力一般為2bar ~ 10b ar。根據用戶的需要，可以選擇零件適合壓力的爐型。