目前單晶硅廠家使用的石墨熱場是相當(dāng)成功的。第一，由于石墨氈是絕緣的，總厚度在100MM以上，保證了徑向溫度梯度盡可能小的條件。二是由于熱場較大，使用的坩堝一般在250MM以上，這樣保溫罩和蓋的直徑也較大，具有足夠的縱向散熱功能，保證了晶體縱向溫度梯度足夠大的條件，加強(qiáng)了托碗底部的保溫效果。保證了熔體中縱向溫度梯度相對較大的條件。這種熱場結(jié)晶速率高，有利于單晶自始至終的無位錯生長，無需過度調(diào)節(jié)。區(qū)別在于產(chǎn)量和節(jié)能效果不同。但這些指標(biāo)往往與設(shè)備良率、管理水平等綜合因素有關(guān)。從熱場結(jié)構(gòu)看，有的加強(qiáng)徑向保溫，采用碳碳復(fù)合材料，降低能耗。

   眾所周知，熱場的部件，如加熱器、三瓣坩堝、石墨支架、隔熱罩等，都是由石墨制成的。在生產(chǎn)過程中，經(jīng)常會遇到加熱裝置損壞的現(xiàn)象。那么石墨器件損壞的原因是什么，應(yīng)該采取什么措施來延長石墨器件的壽命呢？石墨器件損壞的原因主要有兩個:人為和變質(zhì)。只要加強(qiáng)管理，強(qiáng)化員工的防范意識，就可以把損失降到低點。

首先，我們來了解一下石墨的特性。

1.特殊抗熱震性。石墨的熱膨脹是各向異性的，所以宏觀膨脹系數(shù)不大。在溫度突變的情況下，石墨的體積變化不大。再加上其良好的導(dǎo)熱性，石墨的抗熱震性好。如上所述，石墨部件應(yīng)該能夠在高溫下長時間穩(wěn)定工作。

2.耐高溫。石墨的熔點非常高。在真空中3850度，低壓升華，升華溫度2200度。與一般材料不同的是，當(dāng)溫度升高時，石墨不僅沒有軟化，反而強(qiáng)度增加。在2500度時，石墨的抗拉強(qiáng)度加倍。