如何延長石墨熱場(chǎng)器件的壽命呢?
熱場(chǎng)便是熱體系。在機(jī)械中一般指單晶爐熱場(chǎng),便是單晶爐中的熱體系。單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹鳎┉h(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶資料熔化,用直拉法成長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。石墨熱場(chǎng)簡(jiǎn)單的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系。最常見的是18寸的石墨熱場(chǎng)。
眾所周知,熱場(chǎng)的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產(chǎn)過程中,常常能碰到加熱器材損壞的現(xiàn)象,那么石墨熱場(chǎng)器材損壞的原因是什么,應(yīng)該采取什么樣的措施來延長石墨熱場(chǎng)器材的壽數(shù)呢?石墨熱場(chǎng)器材的損壞,主要有人為和劣化兩個(gè)方面的原因。人為方面只要加強(qiáng)管理,強(qiáng)化職工防備意識(shí),就可以將丟失降到最低點(diǎn)。這兒主要討論劣化。
首要我們來了解石墨的有關(guān)特性,1.耐高溫性,石墨的熔點(diǎn)極高,在真空為3850度,在低壓下提高,提高溫度為2200度,與一般資料不同,當(dāng)溫度升高時(shí)石墨不但不軟化,強(qiáng)度反而增高,在2500度時(shí),石墨的抗拉強(qiáng)度反而增加一倍。
2.特別的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因此宏觀膨脹系數(shù)不大,在溫度突變的情況下,石墨的體積改變也不大,再加上其良好的導(dǎo)熱性能,因此石墨的抗熱震性良好。
諸上兩點(diǎn)所述,石墨熱場(chǎng)器材應(yīng)該能夠長期的在高溫下穩(wěn)定作業(yè)。

