石墨舟裝載室:用于太陽(yáng)能職業(yè)和PECVD運(yùn)載車(chē)輛支撐，裝載硅片，制備中高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣滿意凈化要求。 
    石墨舟作業(yè)原理: 空氣經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾后，均勻壓入阻尼層，使?jié)崈魵饬鞔怪薄蜗蛩腿胴?fù)載作業(yè)區(qū)，然后保證作業(yè)區(qū)的潔凈度滿意工藝要求。操作人員在清潔的環(huán)境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點(diǎn): 
    1、能準(zhǔn)確地使石墨舟軸承板小車(chē)定位;
    2、全不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)牢固牢靠;
    3、采用GK系列高效空氣過(guò)濾器3臺(tái);
    4. PECVD運(yùn)載車(chē)輛內(nèi)部可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
    5、凈化風(fēng)機(jī)的噪聲小于50dB.
    6、確保作業(yè)區(qū)域的潔凈度達(dá)到工藝要求100級(jí)。