將新石墨舟及運(yùn)用超越三年的舊石墨舟飽滿后進(jìn)行PECVD表面的表層的鍍膜。新石墨舟表層平整度好，石墨舟片導(dǎo)電性一致，塑料膜分子式能夠均勻地堆積在單晶硅片表層，片間均勻性更高品質(zhì)。
       新石墨舟飽滿后在堆積時(shí)仍有一部分等離子體在石墨舟上邊堆積，運(yùn)行次數(shù)小于三十次時(shí)，隨著著運(yùn)行次數(shù)的進(jìn)步，石墨舟上邊堆積的等離子體下降，片間均勻性越佳。運(yùn)行次數(shù)超出三十次后，隨著著運(yùn)用次數(shù)的進(jìn)步，石墨舟片內(nèi)壁與單晶硅片碰觸邊際處塑料膜變厚，電場(chǎng)反而強(qiáng)勁，形成許多的低溫等離子體堆積，易出現(xiàn)不一樣水準(zhǔn)的邊際發(fā)白情況，導(dǎo)致片間均勻性數(shù)次下降。