石墨以其良好的化學(xué)和物理性能逐漸成為制造許多產(chǎn)品的材料，我國(guó)的石墨舟工業(yè)也日趨成熟，成為各個(gè)領(lǐng)域不可替代的產(chǎn)品。 石墨舟的預(yù)熱和預(yù)處理方法有哪些？

一.石墨盒預(yù)處理（飽和）

1、工藝完成后，石墨舟經(jīng)技術(shù)人員確認(rèn)后，方可投入其他生產(chǎn)。

2、推薦的預(yù)處理（飽和）正常時(shí)間為200-240分鐘。

3、為了更好的延長(zhǎng)石墨舟的使用壽命，建議不要在空舟狀態(tài)下進(jìn)行預(yù)處理，最好安裝假芯片或廢芯片。      

4、再次檢查空石墨箱，確保完好，然后放入爐管開始預(yù)處理。 其他工藝與正常生產(chǎn)工藝沒(méi)有區(qū)別。

5. 需要注意的是，在“沉積”過(guò)程中，該過(guò)程需要一個(gè)小時(shí)，然后再進(jìn)行其他步驟。

二.預(yù)熱

1、將需要預(yù)熱的舟皿放入閑置的爐管中，然后用手打開真空泵的閥門。 此爐管將不進(jìn)行處理。

2、溫馨提示：預(yù)熱時(shí)不要將硅片放入石墨盒中。

3、干燥后的石墨箱通過(guò)生產(chǎn)、工藝、設(shè)備進(jìn)行檢查。 如果沒(méi)有發(fā)現(xiàn)損壞，則將石墨舟一起預(yù)熱。