石墨舟的主要特點:

1.PECVD拖板可以傾斜15度或者內部旋轉180度；
2.凈化風機噪音小于50dB。
3.確保工作區域的清潔度達到工藝要求的100級。  
4、石墨舟能準確定位裝載和裝車；
5.采用不銹鋼制造，整機結構牢固可靠；
6.采用三臺GK系列高效空氣過濾器；

石墨舟的工作原理:

空氣經高效過濾后，阻尼層均衡壓力，使潔凈氣流垂直單向送入晶圓裝載工作區，保證工作區的潔凈度滿足工藝要求。操作員在干凈的環境中將硅晶片裝載到石墨舟上。

石墨舟裝載室:用于太陽能行業，配合PECVD裝載車，裝載硅片，制備中效和高效過濾器，保證吹出的空氣符合凈化要求。